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超高精度影像测量仪

光罩技术的GM超高精度影像式测量仪系列,为七海首创之专利光罩技术制造而成,此技术已获美国、台湾及大陆等地区的发明和创新专利。此类机种的精度几乎不受机械误差及阿贝误差影响,尤其是X、Y轴行程在600mm × 500mm以上的机型,无论是XY轴向精度,还是XY平面坐标精度皆能在5μ内,其精准度比所有百万价值内的德国、日本或其它国外进口的机器更精准。

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